ضاغط الهيليوم هو وحدة محرك الأقراص لنظام Cryopump أو وحدات التبريد الأخرى ، وتستخدم لتزويد غاز الهيليوم العالي نقاء إلى Cryopump أو وحدات التبريد الأخرى.

ضاغط ثاني أكسيد الكربون هو ضاغط يستخدم للضغط على غاز ثاني أكسيد الكربون وتوصيله. يستخدم ضاغط ثاني أكسيد الكربون بشكل أساسي في وحدة تخليق اليوريا.

ما الذي يجب أن نوليه عند استخدام ضاغط الأكسجين؟ ضاغط الأكسجين هو في الواقع ضاغط مع إكسسوارات خاصة مثل الغربال الجزيئي. عند العمل ، تضغط آلة الأكسجين وتبريد الهواء إلى حالة سائلة ، وتستخدم درجات حرارة تبخير مختلفة من الثور السائل.